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雷尼绍激光干涉仪

2021-11-26 09:08:50让卖家联系我

 

激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。我司专业代理销售美国API激光干涉仪,拥有完善的技术服务团队。可做激光干涉仪各种演示与培训。

激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束(参考光束)射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束(测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉(见图)。若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

雷尼绍激光干涉仪功能

●可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量;

●可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等;

●可实现对机床回转轴的测量与校准;

●可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,为设备误差修正提供依据;

●具有动态测量与分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等,可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等;

●支持手动或自动进行环境补偿。

◆软件强

●友好的人机界面;

●丰富的应用功能模块;

●向导式的操作流程;

●简洁化的记录管理;

●支持中文、英文和俄文界面

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