任氏巨源微波化学气相沉积炉

一、任氏巨源微波化学气相沉积炉特点：

1. 高温微波化学气相沉积炉，采用纯微波加热、~传统电加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的非易燃易爆材料，

2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温稳定度好，热惯性小。同时加热多个温区，且加热区长度可调。

3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩散泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。

4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；

5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；

6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；

7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计

8、可通过电脑全程监控和调试；

二、任氏巨源微波化学气相沉积炉产品参数：

型号/model

WBMW-QXCJ4

可加热材料

非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、~传统电加热、混合加热

微波功率/KW

4  (功率可调)

温度测试元件

微波场专用传感器

控温精度/℃

±2（微波场专用传感器）

加热管材质

石英管

高温合金管

刚玉管

加热温度/℃

1200

1200

1600

管径(外径/内经X长度)/mm

∅45/∅35×1200，可选配，最大外径∅60

加热速度

≦200

升温速率不限

≦50

恒温区长度

标配恒温区长度100mm，恒温去长度100mm以上可定制

温区

可多温区同时加热

气路法兰

304不锈钢法兰

质量流量控制

美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器    气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件

气路数量

2路或3路

流量范围

0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定

精度

±0.2%F.S

响应时间

≤1sec

工作压力

进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

系统真空范围

标准大气压～10-3Pa

真空泵

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰

10-1Pa真空机械泵及真空计

10-2Pa真空机械泵、扩散泵及真空计

10-3Pa真空机械泵、分子泵及真空计

炉腔尺寸/mm

700X350X530

加热腔(标配)

0.5-3L 2个

加热腔大小

0.94L，2.12L，3.8L

升温速率(标配)

0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热

外型尺寸/mm

1500´750´1560

微波泄漏/  mw/cm2

≤0.4 

提供相关配件

防护手套×1、中文说明书×1

保质期

整机免费保修1年